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　　真空清洗機利用液體在真空狀態下的物理變化，改變了碳氫清洗劑真空回收機和被清洗物的某些特性，從而趨利避害，使碳氫清洗劑的優勢得到更好的發揮。真空清洗機工作原理：清洗劑中殘存的氣體較多，含氣量是水的8-10倍，超聲波振動子發出的高周波遇到氣體(殘存氧氣)就會衰減，影響了超聲波的精密清洗效果。超聲波空化效應也難以展開，因自動清洗機此需要真空脫氣洗淨機。首先清洗籃進入清洗槽。

　　這時氣缸驅動槽蓋自動關閉清洗槽超音波洗淨設備，真空脫氣系統啟動，將槽內空氣抽盡，在真空狀態下可以將需要清洗的產品的狹小縫隙內氣體及含在清洗劑中的氣體抽出，超聲波啟動，搖擺裝置啟動，帶動洗籃轉動，使清洗劑可以充分進行清洗；到設定的時間後，真空釋放，缸蓋打開，清洗籃進入下一槽。

　　真空清洗機的脫出清洗劑，減少超聲波的衰減。 為提高清洗效果，清洗機中一般都采用超聲波技術，利用超聲波振子每秒鐘幾萬次頻率的振動，發出超過人耳可聽見的10萬倍以上的聲壓。在清洗的情況下超聲波在液體中呈放射狀，使清洗液體流動而產生大量的真空氣泡，這種現像就是空穴作用。

　　由這種空穴作用而產生的液體流動和數以萬計的高壓真空氣泡瞬間爆破時產生的能量，不斷地衝擊被清洗物表面，使表面及縫隙中的污垢迅速剝落。

　　但在常壓狀態下，清洗劑中溶解的空氣粒子遇到超聲波時產生氣泡，超聲波的空穴作用會被大幅度衰減，清洗效果被減弱。在真空狀態下，清洗劑中的氣體會被脫出，從而避免了超聲波的衰減。